Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1367-2630 KITopen-ID: 1000128107 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | New journal of physics |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 22 |
Heft | 10 |
Seiten | Art.-Nr.: 103001 |
Vorab online veröffentlicht am | 01.10.2020 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |