Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 12.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2159-3930 KITopen-ID: 1000128116 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optical materials express |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 10 |
Heft | 12 |
Seiten | 3414-3416 |
Vorab online veröffentlicht am | 01.12.2020 |
Nachgewiesen in | Dimensions |