Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 03.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2590-0498 KITopen-ID: 1000128662 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Materials today advances |
Verlag | Elsevier |
Band | 5 |
Seiten | Article no: 100036 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |