| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 03.2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2590-0498 KITopen-ID: 1000128662 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Materials today advances |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 5 |
| Seiten | Article no: 100036 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex Web of Science |