| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 02.2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2626-1294, 2626-1308 KITopen-ID: 1000128663 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | PhotonicsViews |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 17 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 27–31 |
| Vorab online veröffentlicht am | 02.01.2020 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex |