Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 02.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2626-1294, 2626-1308 KITopen-ID: 1000128663 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | PhotonicsViews |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 17 |
Heft | 1 |
Seiten | 27–31 |
Vorab online veröffentlicht am | 02.01.2020 |
Nachgewiesen in | Dimensions |