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3D-printed optical probes for wafer-level testing of photonic integrated circuits

Trappen, Mareike 1,2; Blaicher, Matthias 1,2; Dietrich, Philipp-Immanuel; Dankwart, Colin; Xu, Yilin 1,2; Hoose, Tobias 1,2; Billah, Muhammad Rodlin; Abbasi, Amin; Baets, Roel; Troppenz, Ute; Theurer, Michael; Wörhoff, Kerstin; Seyfried, Moritz; Freude, Wolfgang 1; Koos, Christian 1,2
1 Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000128749
Veröffentlicht am 02.03.2021
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1364/oe.405139
Scopus
Zitationen: 20
Dimensions
Zitationen: 20
BibTeX (UTF-8) BibTeX (ASCII) EndNote/Refer (.enw) RIS CSL-JSON ISI
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum 07.12.2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1094-4087
KITopen-ID: 1000128749
Erschienen in Optics express
Verlag Optica Publishing Group (OSA)
Band 28
Heft 25
Seiten 37996–38007
Vorab online veröffentlicht am 02.12.2020
Nachgewiesen in Scopus
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