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Microstructure of SiC deposited from methyltrichlorosilane

Reznik, Boris 1; Gerthsen, Dagmar 1; Zhang, Weigang 2; Hüttinger, Klaus J. 2
1 Universität Karlsruhe (TH)
2 Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/S0955-2219(02)00364-3
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Web of Science
Zitationen: 36
Dimensions
Zitationen: 36
Zugehörige Institution(en) am KIT Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 08.2003
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0955-2219
KITopen-ID: 1000129449
Erschienen in Journal of the European Ceramic Society
Verlag Elsevier
Band 23
Heft 9
Seiten 1499–1508
Nachgewiesen in Web of Science
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