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Microstructure of SiC deposited from methyltrichlorosilane

Reznik, Boris; Gerthsen, Dagmar; Zhang, Weigang; Hüttinger, Klaus J.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/S0955-2219(02)00364-3
Scopus
Zitationen: 34
Web of Science
Zitationen: 32
Zugehörige Institution(en) am KIT Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 08.2003
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0955-2219
KITopen-ID: 1000129449
Erschienen in Journal of the European Ceramic Society
Verlag Elsevier
Band 23
Heft 9
Seiten 1499–1508
Nachgewiesen in Scopus
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