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Vapor-liquid-solid growth of silicon nanowires by chemical vapor deposition on implanted templates

Christiansen, S.; Schneider, R.; Scholz, R.; Gösele, U.; Stelzner, Th.; Andrä, G.; Wendler, E.; Wesch, W.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.2357342
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Zitationen: 28
Dimensions
Zitationen: 26
Zugehörige Institution(en) am KIT Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 10.2006
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8979, 1089-7550
KITopen-ID: 1000129483
Erschienen in Journal of applied physics
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 100
Heft 8
Seiten Article: 084323
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