KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Development of pixel super-resolution scanning transmission X-ray microscopy for material science

Mamyrbayev, Talgat

Abstract:
Die Entwicklung hochwertiger fokussierender Röntgenoptiken in den letzten Jahrzehnten hat die Transmissionsmikroskopie mit Röntgenstrahlung aus Synchrotronquellen ermöglicht. Proben lassen sich mit extrem hoher Ortsauflösung untersuchen, allerdings einerseits auf Kosten der Bildfeldgröße (bis zu 100 µm x 100 µm) und andererseits bei eingeschränktem Photonenenergiebereich (unter 20 keV), was den Einsatzbereich insbesondere in den Materialwissenschaften erheblich einschränkt.
In dieser Arbeit für den Bereich harter Röntgenstrahlung (17-35 keV) die so genannte rasternde superpixelauflösende Röntgentransmissionsmikroskopie entwickelt. ... mehr

Abstract (englisch):
Thanks to the development of high-quality X-ray focusing optics during the past decades, synchrotron-based X-ray transmission microscopy techniques enable to study specimens with extremely high spatial resolution. However, on one hand at the expense of the field of view (100 µm x 100 µm) and on the other hand to the detriment of the photon energies range (below 20 keV), which significantly limits the specimens' scope to be investigated, particularly in material science.
In this work, the so-called pixel super-resolution scanning transmission hard X-ray microscopy technique was developed, allowing to enlarge the field of view and drastically reduce the scanning time thanks to sub-pixel specimen scanning through a large number of X-ray probes created by biconcave parabolic shaped refractive multi-lenses. ... mehr

Open Access Logo


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000130490
Veröffentlicht am 16.03.2021
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsdatum 16.03.2021
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000130490
Verlag Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Umfang xii, 104 S.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdatum 22.12.2020
Referent/Betreuer Prof. J. G. Korvink
Schlagwörter Scanning transmission hard X-ray microscopy, pixel super-resolution, refractive multi-lenses, deep X-ray lithography and electroplating
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page