Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsdatum | 08.04.2021 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000131086 |
Weitere HGF-Programme | 38.01.05 (POF IV, LK 01) Simulations, Theory, Optics and Analytics (STOA) |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
Umfang | xxv, 198 S. |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdatum | 08.03.2021 |
Referent/Betreuer | Prof. B. S. Richards |