Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsdatum | 13.04.2021 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000131197 |
HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
Umfang | vii, 108 S. |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdatum | 17.09.2020 |
Projektinformation | SPP 1897 (DFG, DFG KOORD, KA 4224/3-1) |
Referent/Betreuer | Kohl, M. |