| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 13.04.2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000131197 |
| HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | vii, 108 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdatum | 17.09.2020 |
| Projektinformation | SPP 1897, 314969583 (DFG, DFG KOORD, KA 4224/3-1) |
| Referent/Betreuer | Kohl, M. |