Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 03.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2522-5820 KITopen-ID: 1000131251 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Nature reviews |
Verlag | Nature Research |
Band | 1 |
Heft | 3 |
Seiten | 198–210 |
Vorab online veröffentlicht am | 31.01.2019 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |