| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 03.2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2522-5820 KITopen-ID: 1000131251 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Nature reviews |
| Verlag | Nature Research |
| Band | 1 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 198–210 |
| Vorab online veröffentlicht am | 31.01.2019 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus Web of Science |