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Direct-imaging DOEs for high-NA multi-spot confocal surface measurement Direct-imaging DOEs für konfokale Multi-Spot-Oberflächenmessung mit hoher NA

Li, Zheng; Taphanel, Miro; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2021
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0171-8096
KITopen-ID: 1000131418
Erschienen in Technisches Messen
Band 88
Heft 5
Seiten 319-325
Vorab online veröffentlicht am 26.03.2021
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Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung Ziel 11 – Nachhaltige Städte und Gemeinden

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seit 24.04.2021
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