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Direct-imaging DOEs for high-NA multi-spot confocal surface measurement Direct-imaging DOEs für konfokale Multi-Spot-Oberflächenmessung mit hoher NA

Li, Zheng; Taphanel, Miro; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1515/teme-2020-0103
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2021
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0171-8096
KITopen-ID: 1000131418
Erschienen in Technisches Messen
Nachgewiesen in Scopus
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