Direct-imaging DOEs for high-NA multi-spot confocal surface measurement Direct-imaging DOEs für konfokale Multi-Spot-Oberflächenmessung mit hoher NA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0171-8096 KITopen-ID: 1000131418 |
| Erschienen in | Technisches Messen |
| Band | 88 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 319-325 |
| Vorab online veröffentlicht am | 26.03.2021 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |