| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsmonat/-jahr | 10.2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000131745 |
| Veranstaltung | Workshop on maskless photolithography by Heidelberg Instruments (2016), Suzhou, China, 24.10.2016 – 28.10.2016 |