Systematic study of the outgassing behavior of different ceramic materials
Battes, Katharina 1; Day, Christian
1; Hauer, Volker 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Hauer, Volker 11 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2166-2746, 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2754, 2327-9877 KITopen-ID: 1000131875 |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 39 |
| Heft | 3 |
| Seiten | Art.-Nr.: 034202 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |