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Systematic study of the outgassing behavior of different ceramic materials

Battes, Katharina; Day, Christian; Hauer, Volker

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/6.0000954
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2021
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2166-2746, 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2754, 2327-9877
KITopen-ID: 1000131875
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics
Verlag American Vacuum Society
Band 39
Heft 3
Seiten Art.-Nr.: 034202
Nachgewiesen in Scopus
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