| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 07.2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1094-4087 KITopen-ID: 1000134492 |
| HGF-Programm | 43.32.03 (POF IV, LK 01) Designed Optical Devices & Systems |
| Erschienen in | Optics express |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Band | 29 |
| Heft | 14 |
| Seiten | 21586-21602 |
| Vorab online veröffentlicht am | 24.06.2021 |
| Schlagwörter | Proposal 2021-009-001049: DRIE, EBL |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |