Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 07.2021 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1094-4087 KITopen-ID: 1000134492 |
HGF-Programm | 43.32.03 (POF IV, LK 01) Designed Optical Devices & Systems |
Erschienen in | Optics express |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 29 |
Heft | 14 |
Seiten | 21586-21602 |
Vorab online veröffentlicht am | 24.06.2021 |
Schlagwörter | Proposal 2021-009-001049: DRIE, EBL |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |