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A CMOS MEMS Thermal Flow Sensor for Gas and Liquid With Parylene-C Coating

Xu, Wei; Wang, Xiaoyi; Mousa, Basant; Paszkiewicz, Maria 1; Lee, Yi-Kuen
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/TED.2020.3040351
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Web of Science
Zitationen: 2
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Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 02.2021
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0018-9383, 1557-9646
KITopen-ID: 1000134565
Erschienen in IEEE transactions on electron devices
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Band 68
Heft 2
Seiten 919–922
Nachgewiesen in Web of Science
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