A CMOS MEMS Thermal Flow Sensor for Gas and Liquid With Parylene-C Coating
Xu, Wei; Wang, Xiaoyi; Mousa, Basant; Paszkiewicz, Maria
1; Lee, Yi-Kuen
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Lee, Yi-Kuen1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 02.2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0018-9383, 1557-9646 KITopen-ID: 1000134565 |
| Erschienen in | IEEE transactions on electron devices |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Band | 68 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 919–922 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |