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DOE-based Multi-spot Confocal InterferenceMicroscope

Li, Zheng

Abstract (englisch):

Diffractive lens arrays are used to enhance the resolution of a low-numerical-aperture objective to perform high-resolution large-area measurements. However,the axial resolution of such setups is still fundamentally limited by the objec-tive[4]. This work introduces the concept of utilizing the reflected conjugatewave of the diffractive optical elements (DOEs) for interference measurements.A traceable step height target is measured and the experiment result showsthat the proposed setup can improve the accuracy and reduce the measurementuncertainty in the axial direction.

Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000135197
Veröffentlicht am 12.07.2021
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2021
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-1091-8
KITopen-ID: 1000135197
Erschienen in Proceedings of the 2020 Joint Workshop of Fraunhofer IOSB and Institute for Anthropomatics, Vision and Fusion Laboratory. Ed.: J. Beyerer; T. Zander
Verlag KIT Scientific Publishing
Seiten 83-90
Serie Karlsruher Schriften zur Anthropomatik / Lehrstuhl für Interaktive Echtzeitsysteme, Karlsruher Institut für Technologie ; Fraunhofer-Inst. für Optronik, Systemtechnik und Bildauswertung IOSB Karlsruhe ; 51
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