Properties of NbN-based nanowire single-photon detectors fabricated by plasma-enhanced atomic layer deposition

Knehr, Emanuel; Brandel, Julia; Brandel, Oliver; Ziegler, Mario; Goerke, Sebastian; Linzen, Sven; Hübner, Uwe; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael; Meyer, Hans-Georg; Schmidt, Heidemarie

Properties of NbN-based nanowire single-photon detectors fabricated by plasma-enhanced atomic layer deposition

Knehr, Emanuel; Brandel, Julia; Brandel, Oliver; Ziegler, Mario; Goerke, Sebastian; Linzen, Sven; Hübner, Uwe; Ilin, Konstantin; Siegel, Michael; Meyer, Hans-Georg; Schmidt, Heidemarie

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp	Poster
Publikationsdatum	31.10.2018
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000135866
Veranstaltung	Applied Superconductivity Conference (ASC 2018), Seattle, WA, USA, 28.10.2018 – 02.11.2018

Repository KITopen

Properties of NbN-based nanowire single-photon detectors fabricated by plasma-enhanced atomic layer deposition