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Atomic layer-deposited superconducting niobium nitride for quantum device applications

Knehr, Emanuel; Ziegler, Mario; Linzen, Sven; Kuzmin, Artem ORCID iD icon; Ilin, Konstantin; Stolz, Ronny; Ilichev, Evgeni; Schmidt, Heidemarie; Siegel, Michael


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Publikationsdatum 29.06.2020
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000135868
Veranstaltung 20th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2020), Online, 30.06.2020 – 01.07.2020
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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