Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
Publikationstyp | Poster |
Publikationsdatum | 29.06.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000135868 |
Veranstaltung | 20th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2020), Online, 30.06.2020 – 01.07.2020 |