Atomic layer-deposited superconducting niobium nitride for quantum device applications
Knehr, Emanuel; Ziegler, Mario; Linzen, Sven; Kuzmin, Artem
; Ilin, Konstantin; Stolz, Ronny; Ilichev, Evgeni; Schmidt, Heidemarie; Siegel, Michael
; Ilin, Konstantin; Stolz, Ronny; Ilichev, Evgeni; Schmidt, Heidemarie; Siegel, Michael| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsdatum | 29.06.2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000135868 |
| Veranstaltung | 20th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2020), Online, 30.06.2020 – 01.07.2020 |