Zugehörige Institution(en) am KIT | Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000135917 |
Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26 - 28 October, Karlsruhe, Germany |
Veranstaltung | 6. Mikrosystemtechnik Kongress (2015), Karlsruhe, Deutschland, 26.10.2015 – 28.10.2015 |
Verlag | VDE Verlag |