| Zugehörige Institution(en) am KIT | Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000135917 |
| Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26 - 28 October, Karlsruhe, Germany |
| Veranstaltung | 6. Mikrosystemtechnik Kongress (2015), Karlsruhe, Deutschland, 26.10.2015 – 28.10.2015 |
| Verlag | VDE Verlag |