| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsmonat/-jahr | 06.2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000135965 |
| Erschienen in | Modeling Aspects in Optical Metrology V: SPIE Optical Metrology, 21-25 June 2015. Ed.: B. Bodermann |
| Veranstaltung | SPIE Optical Metrology (2015), München, Deutschland, 21.06.2015 – 25.06.2015 |
| Verlag | SPIE |
| Seiten | Art.-Nr.: 952609 |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 9526 |
| Vorab online veröffentlicht am | 21.06.2015 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |