Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 06.2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000135966 |
Erschienen in | Modeling Aspects in Optical Metrology V: SPIE Optical Metrology, 21-25 June 2015. Ed.: B. Bodermann |
Veranstaltung | SPIE Optical Metrology (2015), München, Deutschland, 21.06.2015 – 25.06.2015 |
Verlag | SPIE |
Seiten | Art.-Nr.: 95260G |
Serie | Proceedings of SPIE ; 9526 |
Vorab online veröffentlicht am | 21.06.2015 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |
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