| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 03.05.2021 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000136475 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Master |
| Referent/Betreuer | Kempf, S. |