Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsdatum | 20.07.2021 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000136507 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Referent/Betreuer | Kempf, S. |