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LIGA micro-openings for coherence characterization of X-rays

Nazmov, V. 1; Kluge, M. 1; Last, A. 1; Marschall, F. 1; Mohr, J. 1; Vogt, H. 1; Simon, R. 2
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-013-2056-9
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Zitationen: 3
Web of Science
Zitationen: 2
Dimensions
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 10.2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 1000136672
Erschienen in Microsystem technologies
Verlag Springer
Band 20
Heft 10-11
Seiten 2031–2036
Vorab online veröffentlicht am 09.01.2014
Nachgewiesen in Dimensions
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