LIGA micro-openings for coherence characterization of X-rays
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 10.2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000136672 |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 20 |
| Heft | 10-11 |
| Seiten | 2031–2036 |
| Vorab online veröffentlicht am | 09.01.2014 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |