Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsdatum | 06.08.2021 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-66541-267-4 ISSN: 2167-0021 KITopen-ID: 1000137109 |
HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
Erschienen in | 2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers) |
Veranstaltung | The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers 2021 (2021), Online, 20.06.2021 – 25.06.2021 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 463–466 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |