Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 09.2021 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2166-2746, 2166-2754 KITopen-ID: 1000137348 |
HGF-Programm | 31.13.01 (POF IV, LK 01) Ex-Vessel Plant Systems & Engineering |
Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
Verlag | American Vacuum Society |
Band | 39 |
Heft | 5 |
Seiten | Art.-Nr.: 054203 |
Vorab online veröffentlicht am | 02.09.2021 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |