| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 09.2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2166-2746, 2166-2754 KITopen-ID: 1000137348 |
| HGF-Programm | 31.13.01 (POF IV, LK 01) Ex-Vessel Plant Systems & Engineering |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 39 |
| Heft | 5 |
| Seiten | Art.-Nr.: 054203 |
| Vorab online veröffentlicht am | 02.09.2021 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |