Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2021 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2072-666X KITopen-ID: 1000137570 |
HGF-Programm | 43.35.03 (POF IV, LK 01) Structural and Functional Behavior of Solid State Systems |
Erschienen in | Micromachines |
Verlag | MDPI |
Band | 12 |
Heft | 9 |
Seiten | Article no: 1096 |
Vorab online veröffentlicht am | 11.09.2021 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |