Zugehörige Institution(en) am KIT | Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000138299 |
Erschienen in | VDE Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14.-16. Oktober 2013, Aachen |
Veranstaltung | 5. MikroSystemTechnik Kongress (2013), Aachen, Deutschland, 14.10.2013 – 16.10.2013 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |