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Cylindrical inertial electrostatic confinement plasma source for surface treatment

Tiedemann, Dominik; Hofmann, Patrick; Emmerlich, Jens; Chan, Yung-An; Ulrich, Sven 1; Herdrich, Georg; Müller, Matthias
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.vacuum.2021.110502
Scopus
Zitationen: 6
Web of Science
Zitationen: 4
Dimensions
Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 11.2021
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0042-207X
KITopen-ID: 1000138305
HGF-Programm 38.04.01 (POF IV, LK 01) Gas turbines
Erschienen in Vacuum
Verlag Elsevier
Band 193
Seiten Art.-Nr.: 110502
Vorab online veröffentlicht am 29.07.2021
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
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Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung Ziel 7 – Bezahlbare und saubere Energie
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