Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsdatum | 07.10.2021 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000138528 |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
Umfang | vii, 232 S. |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
Institut | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
Prüfungsdatum | 29.04.2021 |
Relationen in KITopen | |
Referent/Betreuer | Siegel, M. |