Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 05.2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000139034 |
Erschienen in | Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics IV; and EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space III. Ed.: L. Juha |
Veranstaltung | SPIE Optics + Optoelectronics (2013), Prag, Tschechien, 15.04.2013 – 18.04.2013 |
Verlag | SPIE |
Seiten | Art.-Nr.: 877712 |
Serie | SPIE Proceedings |
Vorab online veröffentlicht am | 03.05.2013 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |