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Fabrication of x-ray absorption gratings via deep x-ray lithography using a conventional x-ray tube

Pinzek, Simon; Beckenbach, Thomas; Viermetz, Manuel; Meyer, Pascal; Gustschin, Alex; Andrejewski, Jana; Gustschin, Nikolai; Herzen, Julia; Schulz, Joachim; Pfeiffer, Franz


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1117/1.JMM.20.4.043801
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 10.2021
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2708-8340
KITopen-ID: 1000139536
Erschienen in Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
Verlag SPIE
Band 20
Heft 04
Seiten Article no: 043801
Vorab online veröffentlicht am 04.10.2021
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