| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 15.11.2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0925-4005 KITopen-ID: 1000139661 |
| HGF-Programm | 43.35.03 (POF IV, LK 01) Structural and Functional Behavior of Solid State Systems |
| Erschienen in | Sensors and actuators <Lausanne> / B |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 347 |
| Seiten | Art.-Nr. 130615 |
| Vorab online veröffentlicht am | 16.08.2021 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |