Development of co-integrated shape memory actuators for silicon micro-and nanomechanics
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-5454-0 ISSN: 1432-3419 KITopen-ID: 1000139813 |
| HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
| Erschienen in | Actuator 2021 : International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications : GMM Conference, February 17-19, 2021, online event |
| Veranstaltung | International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications (ACTUATOR 2021), Online, 17.02.2021 – 19.02.2021 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 436-437 |
| Nachgewiesen in | Scopus |