Zugehörige Institution(en) am KIT | Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 02.2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000140188 |
Erschienen in | Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics: MOEMS-MEMS 2008 Micro and Nanofabrication, 19-24 January 2008, San Jose, California, United States. Ed.: T. J. Suleski |
Veranstaltung | MOEMS/MEMS (2008), San José, CA, USA, 19.01.2008 – 24.01.2008 |
Verlag | SPIE |
Serie | SPIE Proceedings ; 6883 |
Vorab online veröffentlicht am | 07.02.2008 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |