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SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen

Last, A.; Reznikova, E.; Nazmov, V.; Simon, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 1000140200
Erschienen in Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Veranstaltung 1. Workshop Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik (2007), Karlsruhe, Deutschland, 07.05.2007 – 08.05.2007
Verlag VDE Verlag
Serie GMM-Fachbericht ; 53
Externe Relationen Abstract/Volltext
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