SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000140200 |
| Erschienen in | Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik |
| Veranstaltung | 1. Workshop Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik (2007), Karlsruhe, Deutschland, 07.05.2007 – 08.05.2007 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Serie | GMM-Fachbericht ; 53 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |