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Quantitative analysis of electron energy loss spectra and modelling of optical properties of multilayer systems for extreme ultraviolet radiation regime

Gusenleitner, S.; Handick, E.; Hauschild, D.; Reinert, F.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.4869201
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 03.2014
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8979, 1089-7550
KITopen-ID: 1000142790
Erschienen in Journal of applied physics
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 115
Heft 12
Seiten 123513
Vorab online veröffentlicht am 26.03.2014
Nachgewiesen in Web of Science
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