Effect of HCl Chemical Reaction Etching on Thick Semipolar (11–22) GaN Growth by Hydride Vapor Phase Epitaxy
Choi, Uiho; Woo, Seohwi; Lee, Sangil; So, Byeongchan
; Nam, Okhyun
; Nam, Okhyun | Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 11.2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1533-4880 KITopen-ID: 1000142934 |
| Erschienen in | Journal of nanoscience and nanotechnology |
| Verlag | American Scientific Publishers |
| Band | 16 |
| Heft | 11 |
| Seiten | 11619–11623 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Web of Science Dimensions |