| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2072-666X KITopen-ID: 1000143347 |
| HGF-Programm | 43.35.03 (POF IV, LK 01) Structural and Functional Behavior of Solid State Systems |
| Erschienen in | Micromachines |
| Verlag | MDPI |
| Band | 13 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 335 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | This article belongs to the Special Issue C-MEMS: Microstructure, Shapes, and Applications in Carbon |
| Vorab online veröffentlicht am | 20.02.2022 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |