Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2022 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2072-666X KITopen-ID: 1000143347 |
HGF-Programm | 43.35.03 (POF IV, LK 01) Structural and Functional Behavior of Solid State Systems |
Erschienen in | Micromachines |
Verlag | MDPI |
Band | 13 |
Heft | 2 |
Seiten | 335 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | This article belongs to the Special Issue C-MEMS: Microstructure, Shapes, and Applications in Carbon |
Vorab online veröffentlicht am | 20.02.2022 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |