Impact of Carbon Contamination Cleaning Technologies on Reflectivity of Extreme Ultraviolet Lithography Optics
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0258-7025 KITopen-ID: 1000143704 |
| Erschienen in | Chinese Journal of Lasers |
| Verlag | Shang hai ke xue ji shu chu ban she |
| Band | 44 |
| Heft | 3 |
| Seiten | Art.-Nr.: 0303004 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |