Structure, electrical, and optical properties of reactively sputter-deposited Ta—Al—N thin films
Anğay, Fırat; Camelio, Sophie; Eyidi, Dominique; Krause, Bärbel
1; Abadias, Gregory
1 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Abadias, Gregory 1 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 14.03.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-8979, 1089-7550 KITopen-ID: 1000143707 |
| HGF-Programm | 56.12.11 (POF IV, LK 01) Materials - Quantum, Complex and Functional |
| Erschienen in | Journal of Applied Physics |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 131 |
| Heft | 10 |
| Seiten | Art.-Nr.: 105303 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |