Quality assurance for micro manufacturing processes and primary-shaped micro components
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 11.2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000145158 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 14 |
| Heft | 12 |
| Seiten | 1823–1830 |
| Vorab online veröffentlicht am | 15.03.2008 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |