Investigation on the mechanical interface stability of curved high aspect ratio x-ray gratings made by deep x-ray lithography
Richter, Michael 1; Beckenbach, Thomas; Daerr, Heiner; Prevrhal, Sven; Börner, Martin 1; Gutekunst, Josephine 1; Zangi, Pouria 1; Last, Arndt
1; Korvink, Jan G. 1; Meyer, Pascal
1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Korvink, Jan G. 1; Meyer, Pascal
11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 25.05.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2708-8340 KITopen-ID: 1000146693 |
| HGF-Programm | 43.35.01 (POF IV, LK 01) Platform for Correlative, In Situ & Operando Charakterizat. |
| Erschienen in | Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology |
| Verlag | SPIE |
| Band | 21 |
| Heft | 2 |
| Seiten | Art.Nr. 024901 |
| Vorab online veröffentlicht am | 01.04.2022 |
| Schlagwörter | Proposal: 2017-019-020930, Technologien: EBL, FIB, XRL |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions Web of Science |