Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 10.2015 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4100-7 KITopen-ID: 1000147163 |
Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress Hrsg.: GMM - VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik. 6. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", 26. - 28. Oktober 2015, Karlsruhe |
Veranstaltung | 6. Mikrosystemtechnik Kongress (2015), Karlsruhe, Deutschland, 26.10.2015 – 28.10.2015 |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 242-245 |
Serie | MikroSystemTechnik Kongress ; 15 |