Acoustical focal positioning for micromachining using a picosecond pulsed UV-Laser
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsmonat/-jahr | 10.2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000147225 |
| Erschienen in | ICALEO 2011: 30th International Congress on Laser Materials Processing, Laser Microprocessing and Nanomanufacturing |
| Veranstaltung | 30th ICALEO (2011), Orlando, FL, USA, 23.10.2011 – 27.10.2011 |
| Seiten | 966 |
| Serie | Journal of Laser Applications ; 1121 |