Precise ablation milling with ultra short pulsed Nd:YAG lasers by optical and acoustical process control
Pfleging, Wilhelm [Hrsg.]
; Schulze, Volker 1; Weber, Patricia 1; Lu, Yongfeng [Hrsg.]; Washio, Kunihiko [Hrsg.]; Amako, Jun [Hrsg.]; Hoving, Willem [Hrsg.]
1 Institut für Produktionstechnik (WBK), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
; Schulze, Volker 1; Weber, Patricia 1; Lu, Yongfeng [Hrsg.]; Washio, Kunihiko [Hrsg.]; Amako, Jun [Hrsg.]; Hoving, Willem [Hrsg.]1 Institut für Produktionstechnik (WBK), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 11.02.2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000147244 |
| Erschienen in | Proceedings of SPIE Vol. 7585 Hrsg.: Wilhelm Pfleging, Kunihiko Washio, Jun Amako, Willem Hoving, Yongfeng Lu |
| Veranstaltung | SPIE LASE 2010 (2010), San Francisco, CA, USA, 23.01.2010 – 28.01.2010 |
| Verlag | SPIE |
| Serie | Proceedings of SPIE Vol. 7585 ; 0 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |