Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 06.2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000147309 |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Seiten | 1771-1775 |