| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 06.2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000147309 |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Seiten | 1771-1775 |