| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsmonat/-jahr | 10.2007 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000147343 |
| Erschienen in | Mikrosystemtechnik Kongress 2007 |
| Veranstaltung | MikroSystemTechnik Kongress (2007), Dresden, Deutschland, 15.10.2007 – 17.10.2007 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |