Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsmonat/-jahr | 10.2007 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000147343 |
Erschienen in | Mikrosystemtechnik Kongress 2007 |
Veranstaltung | MikroSystemTechnik Kongress (2007), Dresden, Deutschland, 15.10.2007 – 17.10.2007 |
Verlag | VDE Verlag |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |