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Optimization of critical processes within an automated process-chain for the Micro-PIM Process

Fleischer, Jürgen; Buchholz, Carsten; Weule, Hartmut


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsmonat/-jahr 05.2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000147400
Erschienen in EUSPEN 2005 - Proceedings of the 5th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology. Ed.: F. Chevrier
Veranstaltung 5th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN 2005), Montpellier, Frankreich, 08.05.2005 – 11.05.2005
Serie Proceedings of 5th euspen International Conference ; 5
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